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高纯三氯化硼

高纯三氯化硼用作硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。用于光导纤维、药品和耐热涂料的制造。还可用作铝的气相刻蚀剂。制造IMDRAM需用三氯化硼，可提高集成电路产率。

高纯三氯化硼

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