工业六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味、无嗅的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性好的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。