六氟化硫气体是二十世纪初发现的，它应用于电工设备是在四十年代，一次被用于断路器是在五十年代初。由于 SF6 气体同空气和变压器油相比有许多优的电气绝缘和灭弧性能，近年来，六氟化硫气体 在电气设备上的应用有了很大的发展，尤其是在高压断路器上，还有全封闭组合电器。现在，新安装的110kV 及以上电压等级的断路器，包括大部分的35kV断路器已经全部是SF6 断路器了。